Изучено влияние степени текстурированности, размера областей когерентного рассеяния основной фазы и шероховатости поверхности пленок на основе Ti-Al-N, осажденных методом импульсного магнетронного распыления на трибологические свойства пленок. При оптимальных значениях параметров структуры и шероховатости поверхности получен уникальный комплекс высоких трибологических свойств пленок Ti-Al-N. 

Читать статью полностью